• Title/Summary/Keyword: 선형모터

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실험계획법을 이용한 선형 모터의 최적 설계

  • 설진수;임경화
    • Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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    • 2005.09a
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    • pp.188-192
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    • 2005
  • 나노 구동용 선형 모터는 이송체의 구동에 따른 진동과 열 특성으로 인하여 발생되는 기구간의 진동과 기계적인 마찰력 변화로 나노위치제어에 어려움이 있다. 그러므로 이송체에 대한 진동과 열에 대한 분석이 필요하다. 본 논문에서는 개발된 선형 모터의 이송체를 무부하 상태에서 유한 요소 해석을 통해 진동 특성을 분석하고 실험계획법을 적용하여 이송체에 대하여 최적화된 설계 방향을 제시하고자 한다. 또한 이송체의 진동 특성을 고려한 경량화를 통해 선형 모터의 안정된 구동을 모색하고자 한다.

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A study on the dynamic properties of piezoelectric ultrasonic linear motor (초음파 선형 모터의 동특성 향상에 관한 연구)

  • Ko, Hyun-Phill;Yoo, Kyoung-Ho;Kang, Chong-Yun;Kim, Sang-Sig;Yoon, Seok-Jin
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2004.07b
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    • pp.757-760
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    • 2004
  • Shaking beam을 이용한 초음파 선형모터는 모터 구동부에서 발생하는 타원궤적이 선형 slider 와 마찰이 되어 선형운동을 발생시킨다. 이러한 초음파 선형모터에서 설계변수는 모터의 효율과 추력(thrust force) 등 동특성을 결정한다. 특히 초음파 모터 동작부의 tip 과 선형 slider 의 contact point와 압착은 모터의 속도, 추력 동작 주파수, 효율에 직접적인 영향을 주는 중요한 parameter 로 작용된다. 본 연구에서는 모터와 선형 slider 의 압착과 contact point둥의 설계변수가 초음파 선형 모터의 성능에 주는 영향을 고찰하였다. 모터으구동부와 선형 slider 사이의 압착력 ($10N{\sim}50N$)과 4가지 곡률을 갖는 tip을 설계변수로 취하였다. Tip 의 형태에 따른 곡률과 모터 구동부와 선형 slider 사이의 압착력 변화에 따른 모터의 동작특성이 변화되는 것을 확인할 수 있었다.

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Pick & Place Module consist of Linear Motor using Cogging Force Reduction Method (코깅힘 저감 방법을 적용한 선형모터로 구성되는 Pick & Place 모듈)

  • Chung, Myung-Jin
    • Journal of IKEEE
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    • v.24 no.3
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    • pp.735-742
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    • 2020
  • The pick & place module is used as a core module in the process equipment for producing and inspecting semiconductor components. The conventional pick & place module has the disadvantage that the precision and durability of the system are reduced and the size and weight of the module are increased by using a conversion device that converts rotary motion into linear motion. In this study, we proposed a pick & place module that implements up-and-down linear motion without a conversion device by improving such disadvantage and employs a linear motor with no limit on average thrust and travel distance. Design parameter values, that can reduce cogging force while maintaining average thrust by selecting parameters for designing a core type linear motor with a large thrust to volume ratio and analyzing the effect of cogging force according to design parameter changes through magnetic analysis, was selected. Average thrust and cogging force were measured for the pick & place module composed of the manufactured linear motor and compared with the design values.

Design of a high Precision stage and a multi-segmented magnet way linear motor for high precision machine (초정밀 가공기를 위한 다극자석 선형 모터와 초정밀 스테이지 설계)

  • 김기현;이문구;김동민;권대갑;조형석
    • Proceedings of the Korean Society of Machine Tool Engineers Conference
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    • 2003.04a
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    • pp.56-61
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    • 2003
  • 본 논문은 초정밀 가공기에 적용 가능한 6자유도의 운동이 가능한 초정밀 스테이지의 설계를 기술한다. 본 초정밀 스테이지는 특히, 광학을 이용한 가공기와 절삭력이 작은 가공기에 적합하다. 스테이지는 장행정 · 단행정 스테이지로 구성된 이중 서보를 채택한다 장행정 스테이지는 초정밀 운동에 방해가 되는 운동을 줄이며 높은 효율을 갖는 다극 자석 배열을 이용한 선형모터를 사용한다. 그리고 단행정 스테이지는 장행정 스테이지와의 기계적 결합에 의한 구조적 영향성을 없애는 개념을 적용할 수 있는 보이스 코일 모터을 이용한다. 그리고 각 구동부는 최상의 성능을 유지할 수 있도록 최적설계를 수행한다.

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Application of Electrical Linear Motors to Machine Tools (전기선형모터의 공작기계에의 적용)

  • 은인웅;정원지;이춘만;최영휴
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 2001.04a
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    • pp.450-453
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    • 2001
  • Linear motor is characterized by its high velocity, high acceleration and good positioning accuracy. In recent years, linear motor is often used as a fast feed mechanism for high-speed machine tools. For the effective application of linear motors to machine tools, many demands on machine conceptions must be fulfilled. In this paper, some important construction concepts such as bending deformation of machine table, frictional force on the linear guidance and thermal behavior of linear motors are presented.

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A Linear Motor Using a Magnetostrictive Actuator (자기변형 엑츄에이터를 이용한 선형모터)

  • Park Y.W.;Seok Y.T.
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 2005.06a
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    • pp.1841-1844
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    • 2005
  • A linear motor makes a long stroke by accumulating short steps, which is based on the quasistatic deformation of a magnetostrictive material in a magnetic field. It's also called as inchworm effect. The application areas of linear motors are an adaptive and active optics, X-Y positioning, precision alignment, etc. It is found that control of the frequency and current inputs are all that is necessary to control the speed handling ability of the linear motor. In inchworm mode, linear speeds of up to $500{\mu}m/s$ are achieved resulting from the accumulation of $25{\mu}m$ steps at 1.4A.

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Linear Motor Mover Absolute Position Non-Contact Identification System (선형모터 이동자 절대위치 비접촉 판별 시스템)

  • Park, Doil;Lee, Chang Hyeun;Oh, Hyun Jun;Roh, Chung Wook
    • Proceedings of the KIPE Conference
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    • 2020.08a
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    • pp.172-174
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    • 2020
  • 기존의 절대위치 감지 방식은 초기위치를 알기 위하여 이동자의 위치를 초기화해야 하고 생산 단가가 높다는 단점을 보완하기 위해 MR 센서를 이용하여 비접촉 방식으로 선형모터 이동자 절대위치를 판별하는 시스템을 제안하였다. 센서값을 이용하여 절대위치를 판별해야 하기 때문에 ADC 기능과 실시간 연산 기능이 필요하다. 때문에 8bit MCU(Atmega324PA)를 이용했다. 본 논문에서 이용한 MR 센서의 출력 변동폭이 작기 때문에 Instrumentation Amplifier를 이용하여 증폭된 출력을 MCU로 읽어 사용했다. 제안 시스템의 회로 및 알고리즘을 구현하였고 이를 이론적, 실험적 분석을 통해 동작 및 타당성을 검증하였다.

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Analysis of miniature piezoelectric ultrasonic linear motor (초소형 압전 초음파 선형 모터의 분석)

  • Lee, Won-Hee;Kang, Chong-Yun;Ju, Byeong-Kwon;Yoon, Seok-Jin
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2007.11a
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    • pp.300-300
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    • 2007
  • 최근 전기전자기기 및 광학기기 등의 소형화 및 고기능에 맞추어 구동 장치의 소형화가 필수적으로 요구됨에 따라, 보다 간단한 구조의 다양한 소형 압전 선형 모터에 대한 개발이 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 굴곡 진동 모드를 갖는 평판형의 압전체와 탄성체로 구성된 압전 트랜스듀서와 두 개의 압전 트랜스듀서를 연결하여 타원 운동을 구현하기 위해, 굴곡 변형이 발생하는 한 쌍의 압전 트랜스듀서에 $90^{\circ}$ 위상차를 갖는 정현파를 각각 인가하여, 한 쌍의 압전 트랜스듀서를 연결하는 돌출부에서 타원궤적을 형성하는 소형 압전 액츄에이터를 설계하였다. 유한요소해석 프로그램인 ATILA를 이용하여 결합부의 타원 궤적의 형성하기 위한 압전 트랜스듀서의 최적 동작 주파수로 운동 모드를 결정하고자 한다.

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