• Title/Summary/Keyword: 입자제거

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Prediction of Wet Scrubber Particle Removal Efficiency due to Diffusion, Interception and Impaction (확산, 차단, 충돌에 의한 세정탑의 입자 제거 효율 예측)

  • 김현태;정창훈;이규원
    • Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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    • 2000.04a
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    • pp.213-214
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    • 2000
  • 입자상 물질을 제거하기 위한 수단으로는 싸이클론, 필터, 전기집진기, 세정탑 등이 있다. 이중에 세정탑은 설치 및 운전이 편리한 반면, 미세 입자 제거 효율이 낮아 산업체에서 제한적으로 사용되고 있다. 이러한 결점, 즉 미세 입자의 제거 효율을 높이기 위해 다양한 형태의 세정탑이 연구되었으나(Laitinen et al., 1997; Fan et al., 1988), 대부분 실험적인 연구로서 세정탑에서 입자의 제거 기작이나 크기 분포 특성을 설명하지는 못한다. (중략)

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An Overview of the UF/MF Membranes for Water Treatment ; Perparetion Methods and Applications

  • 김정학
    • Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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    • 1997.04a
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    • pp.1-54
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    • 1997
  • MF : 0.01~submicron범위의 Pore를 가지는 막으로서 주로 입자제거 및 제균목적으로 사용 UF : MWCO 수천~백만(0.001~0.01$\mu$m)의 분리능력을 가지는 막으로서의 고분자 콜로이드에서 미립자, 균등에 이르기까지 물질을 분리, 농축, 정제하는데 사용

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Generation Characteristics of Ozone and NOx and Particle Removal in the Electrostatic Precipitators (코로나 방전 방식에 따른 전기집진기의 오존, NOx 발생 및 입자제거 특성)

  • Noh, Kwang-Chul;Lee, Young-Ho;Oh, Myung-Do
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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    • v.27 no.10
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    • pp.1442-1449
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    • 2003
  • We investigated the amount of the toxic gases emitted from the Electrostatic Precipitators(ESPs), which are currently used as the indoor air cleaners. The existing wire-to-plate(WTP) and neddle-to-plate(NTP) types of ESP designs are considered as the experimental corona dischargers. Using the voltage, the polarity of wire, the number of needles of NTP as the input variables, we studied the generation characteristics of ozone and $NO_{x}$ and the particle removal efficiency in the ESPs. As the results, we found out that the concentration of ozone, $NO_{2}$ and $NO_{x}$ is increased with increasing the voltage and the number of needles, but the amount of NO is decreased. And we observed that the generation rates of ozone and $NO_{x}$ are mainly related with the corona region through the photographs. Finally the experimental results showed that the particle removal efficiency of ESP with WTP type charger is more superior to that with NTP type chargers at the same voltage.

Simulation of poly-dispersed suspended solid removal by deep-bed filtration (입상여과에 의한 비균일 부유입자 제거공정 모사)

  • Choo, Changupp
    • Clean Technology
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    • v.7 no.3
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    • pp.161-167
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    • 2001
  • A model was proposed for the removal of poly-dispersed suspended solid by deep bed filtration and the collection efficiency was investigated by computer simulation. Deposited particles on the collector surface may act as additional collector and reduce the pore size of the collector. As a result, the capability of removing suspended particles of the filter bed was improved with the deposition. The filtration process of poly-dispersed suspension shows higher collection efficiency than that of mono-dispersed suspensions. Since the large particles deposited on the collector surface may contribute to the increase of contact between collectors and small particles, the improved overall collection efficiency was obtained.

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Removal of Aerosol Through Fibrous Filter as a Function of Particle Size and Velocity (입자의 크기와 유속에 따른 섬유질 여과포에 의한 부유입자 제거 연구)

  • Sang Hoon Lee;Kwan Sik Chun;Hoo Keun Lee
    • Nuclear Engineering and Technology
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    • v.16 no.1
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    • pp.29-35
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    • 1984
  • Filtration efficiency tests were conducted on a fiberglass mat filter with DOP aerosol having a diameter from 0.l${\mu}{\textrm}{m}$ to 0.45${\mu}{\textrm}{m}$ in the face velocity range of 1cm/sec to 10cm/sec. Filtration of submicron particles by a fibrous filter is characterized by a face velocity. The size of DOP aerosol which has a minimum removal efficiency decreases with increasing the velocity. A numerical solution of the diffusion equation is obtained for a fiberglass mat filter by using "Kuwabara's cell model" for the flow field and Von Mises Transformation for the actual flow around a fiberglass. The present theoretical results agree quite well with the experimentals for fiberglass mat. This result could be contributed to predict the removal efficiency on an air filter and to optimize the operating condition of an air purification system with a filter. a filter.

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레이저 유기 충격파를 이용한 나노 Trench 에서의 나노입자제거

  • Kim, Jin-Su;Lee, Seung-Ho;Park, Jin-Gu
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2009.05a
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    • pp.25.1-25.1
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    • 2009
  • Pattern 웨이퍼 상의 오염입자 제거는 반도체 산업의 주된 과제 중 하나이다. Pattern의 선폭이 좁아짐에 따라 Pattern에 손상을 가하지 않고 오염입자를 제거 하는 것은 더욱 어려워지고 있다. 그뿐만 아니라 기존 습식세정 공정에서의 화학액에 의한 환경오염 및 박막의 손실도 문제가 되기 시작했다. 이러한 문제를 해결하기 위해 기존 세정공정에서 화학액의 농도를 낮추고 Megasonic 등을 이용하여 세정력을 보완하는 방법들이 연구되고 있다. 하지만 습식세정의 경우 강한 화학작용으로 인한 표면 손상 및 물 반점의 문제는 여전히 이슈가 되고 있다. 이러한 단점을 극복하기 위하여 건식 세정법이 제시되고 있으며 이 중 레이저 충격파는 레이저를 집속시켜 발생된 충격파를 이용하여 입자를 제거하기 때문에 국부적인 세정이 가능하며 세정력 조절이 가능하여 손상이 세정을 할 수 있다. 그러나 Pattern의 구조에 의해 전되는 세정력의 차이가 발생하고 Trench 내부의 오염입자제거 문제점이 발생할 수 있다. 시편은 Si STI Pattern을 100 nm PSL Particle (Red Fluorescence, Duke Scientific, USA) 을 50ppm 농도로 희석시킨 IPA에 dipping 하여 오염시킨 후 N2 Gas를 이용하여 건조하여 준비하였다. 그리고 레이저 충격파 세정 시스템은 최대 에너지 1.8 J까지 가능한 레이저를 발생하는 1,064 nm Nd:YAG 레이저를 이용하여 실험하였다. 레이져 충격파 실험은 충격파와 시편사이의 거리, gap distance와 에너지를 변환하여 세정효율을 관찰하였다. 세정효율은 세정 전후의 입자 감소량을 현광현미경 (LV-150, Nikon, Japan)를 이용하여 측정하였다. 그 결과, Trench 내부의 오염입자의 경우 Trench 밖의 오염입자에 비해 세정효율이 떨어지는 것으로 나타났으나 시편과 레이저 초점과의 거리가 가까워짐에 따라 Trench 내부의 오염입자에 대한 세정 효율을 증가시킬 수 있었다.

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Reevaluation of hydrogen gas dissolved cleaning solutions in single wafer megasonic cleaning

  • Kim, Hyeok-Min;Gang, Bong-Gyun;Lee, Seung-Ho;Kim, Jeong-In;Lee, Hui-Myeong;Park, Jin-Gu
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2009.11a
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    • pp.34.1-34.1
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    • 2009
  • 1970년대 WernerKern에 의해서 개발된 RCA 습식 세정 공정은 이후 메가소닉 기술 개발과 더불어 현재까지반도체 세정 공정에서 필수 공정으로 알려져 있다. 하지만, 반도체패턴의 고집적화 미세화에 따라 메가소닉을 기반으로 하는 세정기술은 패턴 붕괴 및 나노 입자 제거의 한계를 드러내면서 난관에 봉착하고 있으며, 특히, 기존의 Batch식에서 매엽식으로 세정 방식이 전환은 새로운 개념의 메가소닉 기술 개발을 요구하게 되었다. 메가소닉을 사용한습식 세정공정은 메가소닉에 의한 캐비테이션 효과 (Cavitation Effect)에 따른 충격파 및음압 (Acoustic Streaming)에 의한 입자제거를 주요 메커니즘으로 한다. 메가소닉 주파수와 Boundary Layer 두께는, $\delta=\surd(2v/\omega)$($\delta$=두께, v=유체속도), $\omega=2{\pi}f$ (f=주파수), 으로 표현할 수 있다. 위의 식에 따르면, 메가소닉을 이용한 세정공정에서 주파수가 높아질수록 Boundary Layer의 두께가 감소하며, 이는제거 가능한 입자의 크기가 작아짐을 의미하며, 다시말해, 1 MHz 보다 2 MHz 메가소닉 세정장비에서 미세 입자 세정에 유리함을 예상할 수 있다. 본연구에서는 매엽식 세정장비를 사용하여, 1MHz 및 2MHz 콘-타입 (Cone-Type) 메가소닉 장치를 100nm이하 세정 입자에 대한 입자 제거효율을 평가하였다. 입자 제거 효율을 평가하기 위하여, 표준 형광입자(63nm/104nm 형광입자, Duke Scientifics, USA)를각각 IPA에 분산시킨 후, 실리콘 쿠폰 웨이퍼 ($20mm{\times}20mm$)를 일정시간 동안 Dipping 한 후, 고순도 질소로 건조시켜 오염하였다. 매엽식 세정장비(Aaron, Korea)에 1MHz와 2MHz의 콘-타입메가소닉 발진기 (Durasonic, Korea)를 각각 장착하였다.입자 오염 및 세정 후 입자 개수 측정 및 오염입자의 Mapping은 형광현미경 (LV100D, Nikon, Japan)과 소프트웨어(Image-proPlus, MediaCybernetics, USA)를 사용하여 평가하였으며, Hydrophone을 사용하여 메가소닉에서 발생되는 음압의 균일도를 각 조건에서 측정하였다. 각각의 세정공정은 1MHz와 2MHz 메가소닉 발진기 각각에서 1W, 3W, 5W 파워로 1분간 처리하였으며, 매질을 초순수를 사용하였다. 104nm 형광 입자는 1MHz 와 2 MHz 메가소닉 세정기와 모든 세정 공정조건에서 약 99%의 세정효율인 반면, 63nm 형광입자의 경우는 전체적인세정 결과가 80% 대로 감소하였다. 본 연구를 통하여, 입자크기의 미세화에 따른 입자제거효율이 크게 감소 하는 것을 확인할 수 있으며, 기존 Batch식 메가소닉 대비 단시간 및 낮은 전압에서 동일 혹은높은 세정 효율을 얻었다. 다만, 1MHz와 2MHz 메가소닉에서의 세정력은 큰 차이를 관찰 할 수 없었는데, 주파수변화에 따른 세정효율 측정을 위하여 미세 입자를 사용한 추가 실험이 필요 할 것이다.

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A Study on the Collection Efficiency Characteristic in Electret filter (Electret filter의 포집 효율의 특성에 관한 연구)

  • 김은권;정진도
    • Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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    • 2000.11a
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    • pp.121-122
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    • 2000
  • 현재, 반도체 등의 정밀 공업제품의 제조 기술의 발전에 따라서, 공기중의 미세 입자 제거 기술의 고도화가 요구되어 지고 있다. 이러한 미세 입자 제거에 사용되는 물질중 섬유층 필터는 구조가 단순하고, 여러 가지의 집진 조건에 비교적 용이하게 사용이 가능하여, 오늘날 폭넓은 분야에서 사용되어 왔다. 이러한 고성능의 포집 효율을 위한 노력으로, 섬유경을 작게하에 제작된 HEPA필터등이 이제까지의 청정공기의 생성에 널리 이용되어 왔지만, 장치를 대형화하지 않고서는 고포집효율, 저압력손실로 대량의 공기를 처리하는 것에는 한계가 있으며, 섬유경이 작게 되면, 압력손실이 증가되고, 압력손실의 증가는 동력 비용을 높이는 결과와 함께, 섬유 충진율의 분균일성등의 문제점이 발생한다. (중략)

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Investigation of Fine Dust Agglomeration by Electrostatic Charge (미세분진에 대한 정전하 응집 효과 관찰)

  • 조은정;조영민
    • Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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    • 2003.11a
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    • pp.479-480
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    • 2003
  • 미세 입자의 포집효율을 향상시키고 집진필터의 수명을 연장시키기 위해 여과집진 장치에 전기집진 기술을 접목시켜 미세 입자의 제어 성능을 향상시키기 위한 다단계 집진장치에 대해 많은 연구가 진행되어 왔다(Hautanen, 1996). 그 가운데 전기장 내에서의 입자 응집을 이용한 미세입자의 제거는 전기집진기의 효율을 높이기 위한 방법의 하나로 제시되었고(Lehtinen, 1996), 교류 전기장 내에서의 입자들의 충돌로 인하여 미세입자의 크기가 성장하여 전기 집진 장치에서 미세입자의 제거효율이 상승한다는 연구결과가 발표되었다(Watanabe, 19950. (중략)

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