A High-Resolution Transmission Electron Microscopy Study on the Precipitates Observed in the High Energy B Implanted and Annealed Si

고에너지 B주입후 열처리한 Si에서 관할되는 석출물에 관한 고분해능 투과전자현미경 연구

  • 장기완 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 조남훈 (홍익대학교 금속 재료공학과) ;
  • 노재상 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 이정용 (한국과학기술원 재료공학과)
  • Published : 1995.06.01