한국전자현미경학회:학술대회논문집

한국현미경학회 (Korean Society of Microscopy)
권호 표지

$SiF_4^+/BF_2^+$ 이중 이온주입법을 이용한 천이 $P^+$-N junction 형성에 관한 투과전자현미경 연구

Transmission Electron Microscopy Study on the Formation of Shallow $P^+$-N Junctions by Dual $SiF_4^+/BF_2^+$ Implantation

  • 김진혁 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 백재철 (홍익대학교 금속재료공학과) ;
  • 김형준 (홍익대학교 금속재료공학과) ;
  • 이정용 (한국과학기술원 재료공학과)
  • 발행 : 1995.06.01
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