RF magnetron sputtering 에 의해 증착되 $SnO_x$ 박막의 전기화학적 특성

  • 손현철 (한양대학교 금속공학과 박박재료연구실) ;
  • 문희수 (한양대학교 금속공학과 박박재료연구실)
  • Published : 1998.02.01