Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2008.11a
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Pages.305-306
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2008
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Improvement of Ion Beam Resolution in FIB Process by Selective Beam Blocking

선택적 빔 차단을 통한 집속이온빔 가공 정밀도 향상

한민희 (연세대학교 기계공학부) ;
한진 (연세대학교 기계공학부) ;
민병권 (연세대학교 기계공학부) ;
이상조 (연세대학교 기계공학부)

Published : 2008.11.12

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Abstract

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