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Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
2009.08a
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Pages.314-314
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2009
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
초고속 자기부상형 터보복합분자 펌프 기술 개발
Lee, Hong-Gyun
;
No, Seung-Guk
;
Yun, Jun-Won
;
Kim, In-Chan
;
Yun, Yeong-Hwan
이홍균
(제일진공(주)) ;
노승국
(한국기계연구원) ;
윤준원
(군산대학교) ;
김인찬
(군산대학교) ;
윤영환
((주)신호시스템)
Published : 2009.08.19
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