Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2010.05a
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Pages.301-302
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2010
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Investigation of Scratch Mechanism on Thin-Film Surface in CMP using Slurry with Nano-Size Abrasive

CMP 공정에서 나노 연마입자에 의한 박막표면 스크래치 발생 원인 규명에 관한 연구

박범영 (한국생산기술연구원 동남권기술실용화본부 융합부품소재센터) ;
김형재 (한국생산기술연구원 동남권기술실용화본부 융합부품소재센터) ;
김성렬 (한국생산기술연구원 동남권기술실용화본부 융합부품소재센터) ;
류호연 (한국생산기술연구원 동남권기술실용화본부 융합부품소재센터)

Published : 2010.05.26

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Abstract

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