A Study of Polymer Friction For Nano/Micro Manufacturing Process

미세 공정에서 폴리머 마찰특성에 대한 실험 및 해석 연구

  • 문성남 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 김석범 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 이동언 (서울대학교 기계항공공학부) ;
  • 이우일 (서울대학교 기계항공공학부)
  • Published : 2010.05.26