Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2010.11a
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Pages.439-440
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2010
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Study of characteristic of surface channel PMOS transistor with dose rate of ion implantation

이온주입 시 주입율에 따른 PMOS 트랜지스터의 특성 연구

이종금 (삼성전자공과대학교 반도체공학과) ;
양지철 (삼성전자공과대학교) ;
이영호 (삼성전자) ;
석종규 (삼성전자)

Published : 2010.11.11

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