Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2010.11a
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- Pages.539-540
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- 2010
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- 2005-8446(pISSN)
A Study on the cold hollow cathode ion source for high current density
Cold hollow cathode 방식의 고밀도 이온소스에 관한 연구
- Published : 2010.11.11