Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2010.11a
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Pages.557-558
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2010
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

High speed Cu-filling and TSV formation by Laser drilling

레이저 드릴링을 이용한 TSV 형성 및 고속 Cu-filling

김정오 (한국기계연구원) ;
신동식 (한국기계연구원) ;
서정 (한국기계연구원) ;
이왕구 (서울시립대학교) ;
정재필 (서울시립대학교)

Published : 2010.11.11

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Abstract

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