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Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
(한국정밀공학회:학술대회논문집)
2012.10a
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Pages.479-480
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2012
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2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
Wafer Level Build-Up Stacking Process using Molten Metal Filling for Multi-Chip Packaging
용융 금속을 이용한 웨이퍼 레벨 Build-up 스택 공정 기술
Kwon, Y.S.
;
Lee, J.H.
;
Song, J.Y.
;
Kim, H.J.
권영설
(한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
이재학
(한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
송준엽
(한국기계연구원 초정밀시스템연구실) ;
김형준
(한국기계연구원 초정밀시스템연구실)
Published : 2012.10.24
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Abstract
Keywords
Build-up
;
Oxide bonding
;
Multi-chip packaging