Journal of the Korean Magnetics Society (한국자기학회지)

The Korean Magnetics Society (한국자기학회)
권호 표지

Influence of Sputtering Condition on the Deposition Rate, the Microstruture and Magnetic Properties of Pure Iron Thin Film

순철박막의 증착속도, 미세구조 및 자성에 미치는 스퍼터링조건의 영향

  • 한석희 (한국과학기술연구원 금속재료연구단) ;
  • 김희중 (한국과학기술연구원 금속재료연구단) ;
  • 강일구 (한국과학기술연구원 금속재료연구단) ;
  • 최정옥 (서울대학교 공과대학 금속공학과) ;
  • 이정중 (서울대학교 공과대학 금속공학과)
  • Published : 1991.11.01
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Abstract

고주파 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 순철박막에 대해 증착속도, 미세구조 및 자기특성에 미치는 스퍼터링조건의 영향을 조사하였다. 증착속도는 기판에 자장을 가할 경우 현저히 증가햐였으며, 이는 자장에 의한 Ar 이온의 증가효과로 고찰되었다. 투입전력이 커질수록 결정립 크기와 격자상수가 증 가하였으며 (110)면이 강하게 발달하였다. Ar 압력의 증가에 따라 격자상수는 작아졌으나 결정립 크기는 거의 변화하지 않았다. 기판자장을 가하면서 60W에서 제조한 순철박막의 자화곤란방향이 가장 낮은 약 30e의 보자력을 나타내었다. 보자력은 5mTorr 이상의 Ar 압력에서 급증하는 경향을 보였으며, 이는 표면 이 거칠어진 효과 및 제2상의 효과로 고찰되었다. 두께에 따른 보자력의 변화는 50-200nm 두께의 범위에 서 Neel의 관계를 잘 만족하였다.

Keywords