Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Development of Simulator for the Design of Optimal FIB Lens Structure

최적 FIB렌즈구조 설계를 위한 Simulator 개발

  • 송현욱 (중앙대학교 전자공학과) ;
  • 박화식 (중앙대학교 전자공학과) ;
  • 황호정 (서울시립대학교 제어계측공학과) ;
  • 박선우 (서울시립대학교 제어계측공학과) ;
  • 김철주 (서울시립대학교 제어계측공학 과) ;
  • 조광섭 (광운대학교 물리학과) ;
  • 김태환 (광운대학교 물리학과) ;
  • 서윤호 (광운대학교 물리학과) ;
  • 강승언 (광운대학교 물리학과)
  • Published : 1992.06.01
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Abstract

경계 요소법을 이용하여 Finely-focused ion beam 시스템을 위한 전계형 시뮬레 이터를 개발하였다. 경계 요소법을 시뮬레이터에 적용함으로써 기존의 유한 요소법, 차분근 사법에서는 피할 수 없었던 내부격자망 구성이 불필요하게 됨에 따라 계산속도를 현저히 줄 일 뿐만 아니라 불규칙 경계에 대한 요소분할이 가능하게 되어 최적렌즈구조 설계의 새로운 요소인 전극구조의 모양을 자유롭게 시뮬레이션 할 수 있게 되었다. 또한 개발된 시뮬레이 터를 이용하여 최적조건을 만족하는 구조를 제안한다. 이때 렌즈설계조건은 beam half-angle 3.0 mrad, working distance 50mm, 빔에너지 퍼짐 (beam energy spread) 10eV, 가속에너지 35keV이다.

Keywords