Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Thermal stability of low-emissivity glasses consisting of $SnO_2/AI/Ag/AI/SnO_2$films deposited by D.C. planar magnetron sputtering

직류 스퍼터링법에 의해 제막된 $SnO_2/AI/Ag/AI/SnO_2$ 구조 열선반사유리의 열적안전성

  • 김의수 (한국유리공업주식회사 기술연구소) ;
  • 유병석 (한국유리공업주식회사 기술연구소)
  • Published : 1995.03.01
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Abstract

SnO2/AI/Ag/AI/SnO2층 구조로 이루어진 열처리 가능한 열선반사막을 직류 스퍼터링법에 의해 soda-lime silicate 유리위에 형성시켰다. 이 코팅유리를 $650^{\circ}C$에서 열처리하면 가시광선 투과율 85%이상, plasma wavelength 970nm 이하를 얻을 수 있었다. 따라서 이 구조의 막은 유리 곡가공에 견디는 열적 안정성을 나타내었으며, 코팅유리의 열처리에 따른 전기적 특성 및 열적 안정성은 각각 Ag와 AI층의 두께에 의존하였다.

Keywords