XPS Analysis of PZT film prepared by MOCVD

MOCVD법에 의해 성장시킨 PZT박막의 XPS 분석

  • Published : 1996.06.01

Abstract

Keywords

References

  1. J. Appl. Phys. v.66 J. F. Scott;C. A. Araujo;H. B. Meadows;L. D. McMillan;A. Shawabkeh
  2. J. Appl. Phys. v.74 no.1 Z. Qian;D. Xiao;J. Zhu;Z. Li;C. Zuo
  3. Jpn. J. Appl. Phys. v.32 no.1 M. Shimizu;T. Katayama;M. Sugiyama;T. Shiosaki
  4. J. Appl. Phys. v.69 S. S. Dana;K. F. Etzold;J. Clabes
  5. Phys. Rev. v.B47 L. T. Hudson;R. L. Kurtz;S. W. Robey;D. Temple;R. L. Stockbuaer
  6. Y. K. Kim;J. W. Choo;B. C. Sohn;C. Y. Hwang;T. S. Kim
  7. J. Vac. Sci. Technol. A v.9 no.2 S. -G. Yoon;J. -D. Park;J. H. Choi;H. -G. Kim
  8. J. Kor. Cer. Soc. v.31 D. H. Lee;Y. S. Lee;W. I. Yi;J. K. Lee;H. J. Jung