Abstract
The magnetic properties of sputtered amorphous $Fe_{86.7}Zr_{3.3}B_4Ag_6$ thin films, which contains an additional insoluble element Ag, have been investigated as a function of uniaxal field annealing temperature. The amorphous $Fe_{86.7}Zr_{3.3}B_4Ag_6$ thin films produced by relatively low temperature annealing at 40$0^{\circ}C$ for 1 hour was found to have very high permeability of 7800 at 50 MHz, 0.2 mOe, high magnetization of 1.7 T, low coercivity of 1.0 Oe and very low core loss of 1.4 W/cc at 1 MHz, 0.1 T, respectively. It is notable that the permeability and core loss values for various kinds of the soft magnetic thin films reported up to now. The reason for the appearance for the good soft magnetic properties is presumably due to the homogeneous formation of very fine bcc $\alpha$-Fe clusters with the size in the amorphous $Fe_{86.7}Zr_{3.3}B_4Ag_6$ thin films matrix, which can be deduced from the XRD results.
고투자율 및 고포화자화 특성을 동시에 만족하는 새로운 연자성 박막을 개발하기 위해 Fe-Zr-B계 조성에 Fe원소와 비고용 원소인 Ag를 첨가시킨 Fe86.7Zr3.3B4Ag6 비정질 박막을 DC 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 후 일축 자장중에서 1시간 동안 진공 열처리를 한 후 fan을 이용하여 냉각하여 특성을 조사하였다. Fe86.7Zr3.3B4Ag6 박막을 40$0^{\circ}C$에서 열처리한 후 1.7T의 높은 포화자화와 1 Oe의 낮은 보자력으로 인해 50 MHz에서 투자율이 7,800(0.2 mOe)으로 우수한 연자기 특성을 나타내었으며, 1 MHz에서 손실이 1.4 W/cc(B=0.1T)로 매우 낮았다. 이러한 고주파 연자기 특성은 Ag 첨가에 의해 비정질 기지에 미세한 bcc $\alpha$-Fe cluster가 균일하게 형성되었기 때문이라 생각된다.
