Abstract
In this paper it was described on the standards for Xe analysis by Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer (WDS) of Electron Probe Micro Analyser. According to the experimental results, CsI and $BaCO_3$ are appropriate compounds as standard specimen for Cs, I and Ba which has not suitable pure metal standards. In the beam current of 10-30 nA range, the Cs x-ray intensity measured from CsBr and CsI was proportional to the beam current. It was found that the linear regression factor R, showing the linearity between the atomic number and x-ray intensity between In and Nd elements, was higher than 0.99 at 25 kV and PET crystal. The caJlculated x-ray intensity of Xe standard from this linear regression equation was 1.095 times higher than that ofTe at 25 kV.
파장분산형 엑스선분광분석기에 의한 Xe의 전자탐침미세분석시 표준물질에 대해 기술하였다. 실험결과 순수금속 표준시편을 사용할 수 없는 Cs, I, Ba의 표준물질로는 Csl와 $BaCO_3$가 가장 적당한 것으로 나타났다. 빔전류량 10-30 nA에서 Csl, CsBr로부터 측정한 Cs의 엑스선 세기는 빔전류량에 비례하였다. PET 결정 사용시 In-Nd 원소들의 원자번호 대 엑스선 세기간의 직선성은 가속전압 25-30 kV 범위에서 직선회귀 계수 R=0.99 이상의 좋은 상관성을 보였다. 직선회귀식으로 구한 Xe의 엑스선 세기 표준값은 가속전압 25 kV에서 Te의 엑스선 세기 표준값 보다 1.095배 높게 나타났다.
