초록
본 논문에서는 방사광 X선을 이용하여 표면의 원자구조를 연구하기 위하여 국내 최초로 제작된 초고진공 X-선 산란 장치의 구조 및 성능을 소개한다. 초고진공 X-선 산란 장치는 초고진공에서의 표면처리를 위한 진공부분과 S2D2 geometry를 이용한 수평수직 X-선 회절기로 구성되어 있다. 본 장치의 성능은 Si(111) 표면의 7$\times$7 reconstruction 구조를 관찰함으로서 시연되었다. 본 장치를 이용하여 약 1600$\AA$ 이상의 7$\times$7 도메인으로부터 초당 216 counts의 $(1,{\frac{3}{7}})$ 피크가 관측되었고, 이것으로 본 장치의 진공도와 X-선 회절기의 기능이 표면원자구조를 연구하기에 적합함을 확인할 수 있었다
We introduce the structure and the capability of a UHV x-ray scattering system constructed for surface structural studies. The system consists of vacuum parts required for surface preparation and a vertical-horizontal diffractometer using the S2D2 geometry. To illustrate the capability of the system, we measured the 7$\times$7 reconstruction peak of a Si (111) surface. The peak count rate was 216 counts/sec and the domain size of the 7$\times$7 reconstruction was larger than 1600 $\AA$. This demonstrates that the system is capable of providing surface structural information.
