산화물 원자층 증착의 나노기술에의 응용

  • 맹완주 (포항공과대학교 신소재공학과 나노소자공정연구실) ;
  • 김형준 (포항공과대학교 신소재공학과 나노소자공정연구실)
  • Published : 2006.08.01