Abstract
Automatic semiconductor manufacturing systems are demanded to improve the efficiency of the semiconductor production process. These systems include the functionalities such as the analysis and management schemes for very large real-time data in order to enhance the productivities. So, it requires the efficient storage management system to store very large real-time data. Traditional database management systems(e.g. Oracle, MY-SQL, MS-SQL) are based on disk. However, previous DBMS's have the limitation on the low storing performance. In this paper, we propose a compress-merge storing method of very large real-time data using insert transaction of a block unit. The proposed method shows better processing performances compare to conventional DBMS's. Also compress-merge method makes it possible that it can store large real-time data on low storage cost. Therefore, the proposed method can be applied to an efficient storage management system in the semiconductor production process.
반도체 산업이 발전함에 따라 생산 효율을 높이기 위해 무인 자동 생산 공정이 요구되고 있다. 이러한 무인자동화 생산 관리 시스템은 생산성 향상을 위해 생산 공정에서 발생하는 대량의 실시간 데이터 분석 및 관리를 필요로 한다. 따라서 실시간으로 발생하는 대용량 데이터를 저장하기 위한 저장 관리 시스템이 요구된다. 기존의 저장 관리 시스템으로 오라클, MY-SQL, MS-SQL 등의 디스크 기반 DBMS가 있다. 하지만 기존의 디스크 기반 DBMS는 반도체 장비로부터 실시간으로 발생하는 대용량 데이터 처리에 한계가 있다. 본 논문에서는 대용량 데이터를 저비용으로 실시간 저장하기 위해 블록 단위 삽입 트랜잭션을 이용한 압축-합병 저장 기법을 제안한다. 제안 기법은 블록 단위 트랜잭션을 이용하여 실시간 데이터를 빠르게 저장하며 데이터를 압축하고 압축된 데이터를 합병하여 저장하기 때문에 보다 적은 디스크 공간을 사용하여 저장할 수 있다. 따라서 반도체 공정에서 빠르게 발생하는 대용량 데이터를 기존 DBMS보다 빠르게 저장이 가능하고 저장 공간 비용을 감소시킨다.
