지능형 3차원 형상 세라믹 박막 소재 및 집적화 기술 개발

  • 장호원 (한국과학기술연구원 박막재료연구센터) ;
  • 문희규 (한국과학기술연구원 박막재료연구센터) ;
  • 김진상 (한국과학기술연구원 박막재료연구센터) ;
  • 윤석진 (한국과학기술연구원 박막재료연구센터)
  • Published : 2009.08.31