상온 분사 공정에 의한 물리량 감지 센서용 박막 소재 개발

  • 류정호 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 박동수 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 최종진 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 윤운하 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 한병동 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 이병국 (한국기계연구원 부설 재료연구소)
  • Published : 2009.08.31