반도체디스플레이기술학회지 (Journal of the Semiconductor & Display Technology)

한국반도체디스플레이기술학회 (The Korean Society Of Semiconductor & Display Technology)
권호 표지

웨이퍼 이송 로봇의 잔류진동 저감을 위한 입력성형 기법의 적용

Application of an Input Shaping Method for Reduction of Residual Vibration in the Wafer Positioning Robot

  • 안태길 (호서대학교 공과대학 자동차공학과) ;
  • 임재철 (한국지엠주식회사 구조강성시험팀) ;
  • 김성근 (호서대학교 공과대학 자동차공학과) ;
  • 김국원 (순천향대학교 공과대학 기계공학과)
  • 투고 : 2012.05.22
  • 심사 : 2012.06.15
  • 발행 : 2012.06.30
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초록

The wafer positioning robot in the semiconductor industry is required to operate at high speed for the improvement of productivity. The residual vibration caused by the high speed of the wafer positioning robot, however, makes the life of the robot shorter and the cycle time longer. In this study, the input shaping and the path of the system are designed for the reduction of the residual vibration and the improvement of the cycle time. The followings are the process for the reduction and the improvement; 1) System modeling of the wafer positioning robot, 2) Verification of dynamic characteristics of the wafer positioning robot, 3) Input shaping plan using impulse response reiteration, 4) Simulation test using SIMULINK program, 5) Analysis of result.

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참고문헌

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