Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
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Optimal Determination of the Fabrication Parameters in Focused Ion Beam for Milling Gold Nano Hole Array

금 나노홀 어레이 제작을 위한 집속 이온빔의 공정 최적화

  • Cho, Eun Byurl (School of Integrated Technology, Yonsei University) ;
  • Kwon, Hee Min (School of Integrated Technology, Yonsei University) ;
  • Lee, Hee Sun (Yonsei Institute of Convergence Technology, Yonsei University) ;
  • Yeo, Jong-Souk (School of Integrated Technology, Yonsei University)
  • 조은별 (연세대학교 글로벌융합공학부) ;
  • 권희민 (연세대학교 글로벌융합공학부) ;
  • 이희선 (연세대학교 미래융합기술연구원) ;
  • 여종석 (연세대학교 글로벌융합공학부)
  • Received : 2013.07.25
  • Accepted : 2013.08.22
  • Published : 2013.09.30
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Abstract

Though focused ion beam (FIB) is one of the candidates to fabricate the nanoscale patterns, precision milling of nanoscale structures is not straightforward. Thus this poses challenges for novice FIB users. Optimal determination in FIB parameters is a crucial step to fabricate a desired nanoscale pattern. There are two main FIB parameters to consider, beam current (beam size) and dose (beam duration) for optimizing the milling condition. After fixing the dose, the proper beam current can be chosen considering both total milling time and resolution of the pattern. Then, using the chosen beam current, the metal nano hole structure can be perforated to the required depth by varying the dose. In this experiment, we found the adequate condition of $0.1nC/{\mu}m^2$ dose at 1 pA Ga ion beam current for 100 nm thickness perforation. With this condition, we perforated the periodic square array of elliptical nano holes.

집속 이온빔 장비는 나노크기의 패턴을 제작하는 한 방법이지만, 정밀한 제작은 쉽지 않다. 그러므로 집속 이온빔 장비로 샘플을 제작할 때 고려해야 하는 공정 조건을 정리하여 초보자도 샘플제작이 가능하도록 도움을 주고자 한다. 본 장비로 원하는 나노크기의 패턴을 제작하기 위해서 집속 이온빔 장비의 공정변수들을 최적화 하는 과정이 중요하다. 가공할 때 고려해야 하는 변수에는 빔 전류량(빔 크기)과 도즈(빔 지속시간)가 있다. 도즈를 결정한 후에 패턴을 제작하는데 걸리는 시간과 패턴의 크기를 고려하여 빔 전류량을 선택하면 된다. 여기서 도즈는 제작하려는 나노크기의 패턴의 금속 두께에 따라 결정이 된다. 이 논문에서 최적화한 1 pA의 빔 전류와 $0.1nC/{\mu}m^2$의 도즈의 공정조건에서 100 nm 두께의 금 박막 위에 타원형의 구멍을 정밀하게 제작할 수 있다.

Keywords

References

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