Abstract
Nowadays, the technique to deal with the waste gas of perfluorinated compounds using plasma has been developed. As the effective decomposition techniques at many research centers and companies were investigated at home and abroad, the products have been improved with various methods. This study aims to guess the distributions of pressure and temperature through the thermal and fluid analyses inside the decomposition equipment model of waste gas. As the analysis result, the maximum pressure and the minimum pressure are 0.975Pa and -1.037Pa individually on the whole. It is shown that the pressure of air decreases gradually as the air flows from inlet to plane 1 and the pressure increases as the air flows from plane 1 to outlet. And the maximum temperature and the mimum temperature are $1718^{\circ}C$와 $26.07^{\circ}C$ individually on the whole. It is shown that the temperature of air increases gradually as the air flows from inlet to plane 4 and the temperature decreases as the air flows until outlet. It is thought that the data necessary to develop the real system can be applied by using the thermal and fluid analyses.
최근 플라즈마를 이용한 과불화 화합물의 폐가스를 처리하는 기술이 발달되어져 왔다. 국내외로 여러 연구기관 및 업체에서 효율적 분해기술이 연구되어져서 그 제품들이 여러 방법들로 개선되어 왔다. 본 연구는 폐가스 분해 장치 모델 내부의 열과 유동 해석 방법을 통하여 압력 및 온도 분포를 예측하고자 한다. 해석 결과, 공기의 압력 분포 결과는 전체적으로 최대 압력이 0.975Pa과 최소 압력은 -1.037Pa로 나왔다. 공기가 입구에서 Plane 1까지 유동함에 따라 압력 값이 점점 줄고 Plane 1에서 출구까지 유동함에 따라 공기의 압력 값이 점차 증가하는 것을 볼 수 있다. 그리고 전체적으로 공기의 최대 온도와 최소 온도는 각각 $1718^{\circ}C$와 $26.07^{\circ}C$이다. 공기는 입구에서 Plane 4까지 유동함에 따라 온도가 점점 증가하였고 출구까지 유동함에 따라 공기의 온도는 줄어드는 것을 볼 수 있다. 본 연구에서의 열 유동 해석 결과를 이용하여 실제 시스템의 개발에 필요한 자료를 제공할 수 있을 것으로 사료된다.
