Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Reactive Sputtered $WN_x$ Metallization for Self-Aligned Gate GaAs MESFETs

  • 문재경 (한국전자통신연구원 화합물반도체 연구부) ;
  • 양전욱 (한국전자통신연구원 화합물반도체 연구부)
  • Published : 1998.02.01
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Abstract

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