Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

TMAH를 이용한단결정 실리콘의 식각특성

  • 김환영 (선문대학교 첨단과학기술연구소) ;
  • 조남인 (선문대학교 첨단과학기술연구소)
  • Published : 1998.02.01
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