Abstract
Magnetic inductive probe was designed and assembled for sensing the residual stress developed in the ferromagnetic thin sheet. The residual stress measurement system with this probe could resolve the residual stresses developed in the sheet in terms of principal stress orientation, and magnitude of the principal stress. It was consumed that the obtained probe output voltage from the qualified ferromagnetic Fe-42Ni lead frame sheet and quality-rejected sheet is effectively determined using the developed device. The lead frame sheet which has accumulated a high level of residual stress always showed a distinctive stress distribution and magnitude compared with those of qualified lead frame sheet. Those differences were well resolved as functions of input current or used frequency.
강자성 극박소재에 유기된 잔류응력을 검출하기 위하여 자기유도형 탐촉자(probe)를 설계·제작하였으며, 이를 장착한 잔류음력 평가시스템은 박판내에 유기된 잔류응력의 주응력 방향과 크기를 효과적으로 결정하여 준다. 이 시스템을 반도체 칩 팩키지(package)용으로 사용하는 Fe-42Ni계 lead frame 판재의 잔류응력 검출에 적용한 결과, 양호재 및 잔류응력과다 불량재에 대한 출력전압은 명확히 구별되었고, 잔류응력이 축적된 판재는 양호재와 비교하여 응력의 분포 및 크기에 있어 항상 차이를 나타내었다. 이러한 차이는 탐촉자에 투입하는 전류와 주파수의 함수로 잘 분해되어질 수 있음을 확인하였다.